洁净室尘埃粒子检测培训资料（内部版）

无尘车间，也称为洁净室是保证半导体，太阳能电池等对环境要求较高的行业进行批量生产所条件要求。（本篇不展开细菌微生物内容）。

悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其颗粒尺寸范围约在0.1-5μm之间。如油，属于液体状态，也会形成微粒。

洁净度：用于表示单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量多少，是区分空间洁净程度的标准。

高效空气过滤器HEPA:在额定风量下，对颗粒大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上，以及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。

测试采样：

仪器：激光粒子计数器。

采样点：洁净室内一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。

             洁净室面积较小时，可以在离地面0.8m-1.5m高度的区域内分层采样。

采样量：

采样分析，除了洁净室环境空间外，如压缩空气中也会存在颗粒，压缩空气采集与普通环境相比，需要压缩空气采集器，可有效计算采集气体量。