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洁净室检测中被忽视的静电污染 危害可不小

2020-11-24

由于检测的仪器,方式,能力限制,目前在洁净室检测中,还没有一项检测洁净室静电的项目,只能根据洁净室的产生静电的可能来减少静电的可能,暂时无法找到一种如同激光粒子计数器一样的仪器,来检测空气中出现的静电计数器。目前可使用的多为表面电阻测试仪,如希玛AS982 表面电阻测试仪或者采用静电压差计,可测量可见的物体的静电电位,具体可咨询大湾在线客服。

洁净室检测

洁净室中产生静电的原因:

人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时,与不同物质设备器材摩擦要产生静电,人、衣服、鞋都会带电。

空调气流经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器,净化出口气流是带静电的。

大量的绝缘器材、装备和工具,也是重要的静电电荷源。

洁净室湿度低也是产生静电的一个原因:

洁净室检测

静电的危害:

静电库仑力在静电库仑力的作用下,吸附的粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径 100μ m,铝线宽度约 100μ m,氧化膜厚度在 50μ m 时,最易使产品报废。现在线径更细,氧化膜很薄,粒径很小的尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV(100PF)的静电荷触摸器件脚时发生 ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达 20A(10~100s),不要说高密度细线径,薄SiO2 膜的 Lsi、Vlsi,就是一般 IC、MOS都会遭受损坏。

如何减少洁净室中的静电:

进入洁净室必须穿:防静电工作服。大湾检测工程师在到客户现场洁净室检测的时候,都自备防静电洁净室服。

(1)尽量采用性质相似器材,减少在接触摩擦分离过程中产生静电电荷;

(2)尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材,减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷;

(3)尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。

还可以使用防静电工作台垫,防静电工作地垫,防静电手腕带。

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