大湾检测助力国产光刻机压缩空气检测 助力顺利投产

我们的芯片生产受限于人，就如我们咽喉被他人卡住，在自足研发的道路上，我们没有停步，一直在努力，做为压缩空气检测人，我们有着20年检测检验，检测检验丰富。

在电子半导体行业，我们的客户有富士康电子组装，手机喷涂，OLED手机屏幕生产厂家，台积电晶圆，光刻机后道封装等。

我们检测项目有含油量检测，含水量检测，尘埃粒子检测，除压缩空气之外，高纯氧，高纯氮检测也可检测。

压缩空气检测

简单而言，芯片制造涉及硅片制备、硅片制造、硅片测试/拣选、装配与封测、最终测试五大生产阶段，彼此独立，而特种气体，则或多或少参与到各个环节当中。

比如，为向反应系统提供所需能量，需要通过气体混合，在硅片表面沉积一层固体膜，这种工艺称为“化学气相沉淀（CVD）"，当中常用的特种气体就有高纯氮、硅烷等；又如，高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷等氟基气体，是刻蚀工艺中所采用的主要介质。

按照用途，特种气体可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、光刻气、载运和稀释气体等大类。其中，光刻气是光刻机产生深紫外激光的光源，不同的光刻气产生的光源波长不同，直接影响光刻机的分辨率，是光刻机的核心之一。

特种气体在纯度、组成、有害杂质最高含量、产品包装贮存等方面均有极其严格的要求，属于高技术、高附加值产品。大湾检测注重在纯度，有害杂质检测。如有更多压缩空气检测技术问题，请咨询大湾检测客服。