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大湾检测助力国产光刻机压缩空气检测 助力顺利投产

2022-03-23

我们的芯片生产受限于人,就如我们咽喉被他人卡住,在自足研发的道路上,我们没有停步,一直在努力,做为压缩空气检测人,我们有着20年检测检验,检测检验丰富。


在电子半导体行业,我们的客户有富士康电子组装,手机喷涂,OLED手机屏幕生产厂家,台积电晶圆,光刻机后道封装等。

我们检测项目有含油量检测,含水量检测,尘埃粒子检测,除压缩空气之外,高纯氧,高纯氮检测也可检测。

压缩空气检测

压缩空气检测


简单而言,芯片制造涉及硅片制备、硅片制造、硅片测试/拣选、装配与封测、最终测试五大生产阶段,彼此独立,而特种气体,则或多或少参与到各个环节当中。


比如,为向反应系统提供所需能量,需要通过气体混合,在硅片表面沉积一层固体膜,这种工艺称为“化学气相沉淀(CVD)",当中常用的特种气体就有高纯氮、硅烷等;又如,高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷等氟基气体,是刻蚀工艺中所采用的主要介质。


按照用途,特种气体可划分为掺杂气、外延气、离子注入用气、LED用气、光刻气、载运和稀释气体等大类。其中,光刻气是光刻机产生深紫外激光的光源,不同的光刻气产生的光源波长不同,直接影响光刻机的分辨率,是光刻机的核心之一。


特种气体在纯度、组成、有害杂质最高含量、产品包装贮存等方面均有极其严格的要求,属于高技术、高附加值产品。大湾检测注重在纯度,有害杂质检测。如有更多压缩空气检测技术问题,请咨询大湾检测客服。


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