压缩空气中微量油测定方法的现状与进展

压缩空气中微量油（含悬浮油滴、油蒸气）是影响高洁净场景（电子、制药、食品、精密气动）的关键污染物。

红外分光光度法（IR/FTIR）：利用油中 C-H 键在2930 cm⁻¹、2960 cm⁻¹、3030 cm⁻¹的特征红外吸收，通过四氯乙烯萃取、硅酸镁吸附除杂后定量。

检出限低：0.001–0.003 mg/m³，满足 ISO 8573-1 等级（0 级，≤0.01 mg/m³）。

适用范围广：可测总油（悬浮油 + 油蒸气），结果稳定、重复性好。

缺点：离线操作、流程长，需有机溶剂、无法实时监测。
实操应用：制药洁净车间、半导体供气系统、食品包装线的实验室仲裁检测。

重量法：大流量采样（50–100 h），用吸附剂 / 滤膜捕集油分，精密天平称重差值计算浓度。

局限：灵敏度极低，采样周期极长、易受粉尘 / 水分干扰、无法区分油类型。逐步被替代。

气相色谱法（GC）：吸附 / 热脱附 + GC 分离，FID / 质谱检测，可区分矿物油、合成酯、硅油等组分。
优势：组分定性定量、检出限可达0.005 mg/m³、适合溯源分析。
缺点：设备昂贵、操作复杂、预处理繁琐、不适合现场快速检测。

实操应用：油污染来源解析。

光散射法（悬浮油快速筛查）：德尔格油检测盒5分钟在线检测，油滴散射光强与浓度正相关，直接测量气流中悬浮油滴。

优势：无需萃取、可在线，价格便宜，操作简单。
缺点：仅测悬浮油、无法测油蒸气、受颗粒 / 水雾干扰、低浓度（<0.01 mg/m³）误差大。

PID 在线：10.6 eV 紫外灯电离油蒸气，离子流与浓度成正比；响应 < 7 s、检出限0.005 mg/m³，代表型号OILcheck400

优点：快速、实时、便携

缺点：仅测蒸气、漂移

核心技术瓶颈（制约高洁净场景应用）

油形态区分难：悬浮油滴（液滴）与油蒸气（气态）共存，传统方法多测 “总油"，无法分别定量，而二者对设备 / 产品的危害机制不同。

超痕量检测极限：半导体 / 光刻场景要求 ≤0.001 mg/m³，现有离线方法检出限接近极限，在线传感器稳定性不足。

在线监测可靠性：长期漂移、传感器污染、温湿度干扰、无法自动校准。

采样与预处理损耗：离线采样中油滴吸附 / 解吸、蒸气冷凝，低浓度下误差被放大。

大湾检测常年在客户现场做压缩空气油含量检测，水含量检测，露点检测，颗粒检测，技术经验丰富，对各类检测设备优缺点都比较了解。