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洁净室尘埃粒子是否合格计算和判断方法

2022-02-22

我们使用激光粒子计数器在一个点进行检测时,有时候显示的数值偏差较大,采样点中有一些点数值较小,有些值数值较大,我们如何判断本次洁净室检测的级别判断呢?

采样点的分布,数量,以及高度,本文不做详细展开。如需了解,可联系大湾检测工程师进行沟通了解。本文主要通举例计算,便于大家更好的理解。

静态监测6㎡洁净度,洁净级别D,2个采样点,每个采样点采样3次,检测粒子粒径 5μm

第一次第二次第三次
采样点1(粒/m3)26428842915144
采样点2(粒/m3)232681785210858

(1)计算各采样点平均粒子浓度

平均粒子浓度

计算平均值的总均值。总均值时各个采样点平均值的平均值。本案例只有两个点,均值比较容易计算:

总平均值计算


(2)计算采样点平均值的标准偏差(S)

标准偏差


(3)计算95%置信上限(UCL):95%置信上限:

95%置信上限

m:采样点的总数

t0,95%智信上限的t分布系数:

采样点数m234567 ~ 9
t6.32.92.42.12.01.9
需注意的是:当采样点数只有1 个或多于9 个时,则不用计算95%置信上限。


结果判定

洁净室达到规定的洁净级别的判定条件:

(1)各采样点测得的粒子浓度平均值不超过相应洁净级别规定的限度;

(2)95%置信上限不超过相应洁净级别规定的限度。

依据上述条件判定如下:

D级洁净区5μm尘埃粒子限度值 (粒/m3)29000
采样点1粒子浓度平均值 (粒/m3)16667符合
采样点2粒子浓度平均值 (粒/m3)17326符合
95%置信上限 (粒/m3)19076符合

因此,该的洁净区5μm 尘埃粒子的浓度符合相应洁净级别的限度。同理检测和计算该区域0.5μm 尘埃粒子的浓度,并最终判定该洁净区的洁净度是否符合相应的洁净级别。

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